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Failure Mechanisms of W/TiN/Ti Metal Lines under High Current Stressing

Failure Mechanisms of W/TiN/Ti Metal Lines under High Current Stressing

저자

D.-K. Kim, S.-J. Hwang, and Y.-C. Joo

저널 정보

Appl. Phys. Express, 5(2), p. 025801 (2012)

출간연도

2012

링크

https://doi.org/10.1143/APEX.5.025801

D.-K. Kim, S.-J. Hwang, and Y.-C. Joo, “Failure Mechanisms of W/TiN/Ti Metal Lines under High Current Stressing”, Appl. Phys. Express, 5(2), p. 025801 (2012)

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